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      水蜜桃在线观看在半导体行业的应用

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      水蜜桃在线观看在半导体行业的应用

      发布日期:2023-08-21 作者: 点击:

        半导体制造要求始终控制液体在工艺工具中的流动,其中一个严格的应用是化学机械平整化。(CMP)。当CMP工具无法将一致的浆料速度分配到抛光基材上时,会对产量、化学品的使用和材料的完整性产生很大的负面影响。晶圆厚度的变化,缺陷密度的增加,工具停机时间和晶圆废料的增加,只是过程控制不良可能导致的一些问题。


        水蜜桃在线观看非常适合半导体行业的高纯度和腐蚀性化学环境。对于CMP来说,在抛光过程中,为CMP提供了良好的线性和可重复性。低剪切力适用于CMP浆料,其变速操作允许在较宽的操作范围内控制流量或压力,以保持过程的完整性。


        浆料的性能可以实现优异的晶圆平面度,泵可以通过控制浆料的输送和分配来帮助实现这一目标。泵的非侵入式设计提供了一条没有死流区域的直流路径,使浆料凝结、硬化和污染。流速到达±0.5%。提供稳定的流体输送不仅可以保证浆料不断流向抛光垫,还可以减少浆料、化学物质和去离子水的浪费。


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